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귀금속·비금속선을 이용해 저온으로부터 초고온까지의
공업용 온도계측에, 넓게 사용되고 있는 온도 센서입니다.
일반 공업용 열전대나 폭발의 위험 장소에 이용되는 방폭형 열전대 등 다양한 용도의 제품을
제조하고 있습니다. |
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| 01.
시스 열전대(THERMIC) |
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금속 시스와 열전대소선간을 고순도
마그네시아 분말로 딱딱하게 충전해 기밀 상태로 한 절연성과 고내압성을 가진 시스 열전대입니다.
또, 적정한 소둔에 의해 열전대 상태를 해치는
일 없이 굽힐 수 있습니다. |
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| 시스 열전대의
종류 |
K, E,
J, T, N, R |
| 시스 외경 |
φ0.25 φ0.5 φ1.0 φ1.6 φ2.2 φ3.2 φ4.8 φ6.4 φ8.0 |
| 재질 |
SUS316L SUS310S INCONEL600 |
| 경도 |
JIS 클래스1 JIS 클래스
2 |
| 대수 |
싱글 더블 |
| 온접점 |
타입Ⅰ(접지형) 타입Ⅱ(비접지형)
타입Ⅲ(노출형) |
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THERMIC시스
열전대의 표준 형식(MODEL：TM) |
TMB형태 보상 도선 첨부 |
TMH형태 밀폐방적단자상부 |
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TMES(L)형태 메탈 코넥터
첨부 |
TMN형태군요 글자 포함식 |
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TMDS(L)형태 수지제
코넥터 첨부 |
TMNF형태 플랜지식 |
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| 02. 보호관형 열전대 |
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열전대소선에 절연관을 달아 금속
보호관이나 세라믹제 보호관 등에 짜넣은 일반적인 열전대입니다.
보호관 및 절연관에는, 사용장소의 조건을 고려한 다음 최적인 것을 선정
하는 것이 중요하고, 측온기술의 중요한 포인트가 됩니다. |
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| 열전대의
종류 |
K, E,
J, T, N, R |
| 선경 |
φ0.32 φ0.5(R타입)φ0.65 φ1.0 φ1.6 φ2.3 φ3.2 |
| 경도 |
JIS 클래스 1 JIS 클래스
2 |
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TE12형태 금속 보호관부열전대 |
TE22형태 자성 보호관부열전대(서포트식) |
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TE13형태 금속 보호관부열전대(비틀어
넣기식) |
TE23형태 자성 보호관부열전대(비틀어
넣기식) |
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TE14형태
금속 보호관부열전대(플랜지식) |
TE24형태 자성 보호관부열전대(플랜지식) |
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| 03. 세라서모 열전대 |
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세라서모 열전대는 열전대소선에 세라믹 박막으로
절연 하는 것으로써, 작업성에 난점이 있던 절연관이나 보호관을 불필요하게 해,
세경화와 경량화를 가능하게 한 열전대입니다. |
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특징 |
1.작업성 양호······ 절연관의
연결고리로 궁리할 수 있거나 합선 하지 않습니다.
2.공간절약······· 실질적으로는 열전대와 동지름입니다.
3.경량············ 실질적으로는 열전대와 동중량입니다.
4.고가효성········ 절연관이나 보호관에 의한 제약이 없습니다.
5.비가스 방출성···· 초고진공내에서 사용 가능합니다.
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이용분야 |
| 반도체
제조 장치 |
기반,
웨퍼의 온도 분포 측정 |
| 진공 장치 |
각종 증착 장치,
스패터링 장치의 기판 온도 측정
분석 장치내의 온도 측정 |
| 제조 장치(CVD장치,
열처리노) |
정밀소성로, 정밀
합성로내의 온도 측정 |
| 열전대소선의
종류 |
타입
K |
| 선경(대표예) |
φ0.1 φ0.2 φ0.32 |
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| 04. 고온 환원
분위기용 TYPE "K"열전대(AD-THERMIC) |
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당사는,
열전대소선메이커와의 공동 개발에 의해 TYPE ”K” 열전대소선의 합금 성분을 조정해,
종래의 TYPE"K"열전대의 고온 및 환원 분위기하에서의 안정성을
크게 개선했습니다.
이 개발한”K”열전대소선을 이용한 신형TYPE"K"
시스 열전대
<제품명：ADVANCED TYPE K THERMIC：AD-THERMIC>의
고온에 있어서의 안정성의 사내 평가 시험을 실시해, 당사의 종래품과 비교해서 양호한
데이터를 얻을 수 있었습니다.AD-THERMIC(은)는, 고온 열처리노나 환원 분위기노에서의
필드 평가에서도, 종래품과 비교해서 뛰어난 평가 결과를 얻을 수 있어 호평을 받고
있습니다. |
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| 특징 |
※ 수소 분위기, 고온침탄등의 환원 분위기하에서의 드리프트의
개선
※ 고온 연속 사용에 있어서의 수명 연장 |
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| 05. 고온측정용
열전대 텅스텐-레니움 |
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근년 눈부신
발전을 이루고 있는 고온 열처리노나 고온 영역에 있어서의 실험·연구등으로의 고온도
측정의 요구가 높아지는 가운데, 텅스텐-레니움(이하,W·Re(와)과 칭) 열전대를
이용한 온도 센서를, 산업계 각 분야에 대해, 넓게 소개 해왔습니다.
그런데, 지금까지는 이 W·Re열전대 재료는, 해외로부터의 수입에 의지하고 있었습니다만,
이번에 국내 메이커와의 공동 개발을 실시해, ASTM규격E988에 준거한 열전대 재료로서
판매를 개시하기에 이르렀습니다. |
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텅스텐-레니움
열전대의 일반 특성 |
W·Re열전대의 특징은 아래와
같습니다.
- 백금계 열전대에 비해, 열기전력이 크고, 또, linearity가 양호하고, 한편,
고온 지역(2300℃)까지 측정 가능합니다.
- 백금계 열전대는, W·Re열전대는, 환원성·불활성·진공·핵환경하에서 사용할 수 있습니다.
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텅스텐-레니움
열전대의 열기전력 특성 |
| W·Re열전대의 임의 로트에 대해 열기전력 특성을
조사한 결과, 그림 1및 그림 2에 나타내도록(듯이) 초기에 있어서의 오차
및 드리프트량과도, 종래의 해외품보다 우수합니다. |
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W·Re열전대를 이용해 W·Re열전대를 비교 교정. |
1600℃의 아르곤 분위기중에서3시간,
10시간
가열한 후 ,Cu응고점(1084.62℃)에 있어서의
오차의 변화량.
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종류 |
W·5%Re |
W·26%Re |
특성 |
융점℃※ |
3375℃※ |
3021℃※ |
| 비중 |
19.4 |
19.6 |
| 전기 저항μ Ω·cm(30ºC) |
12.6 |
28.8 |
| 선팽창 계수(0~100ºC) |
4.6×10 -6 |
4.9×10 -6 |
| 비열(30ºC) |
0.131 |
0.132 |
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융점에 대해서는, 아래와 같이 문헌으로부터 인용.
다만, W·26%Re의 융점은 기재되지 않았기 때문에,W·25%Re의 값을 대용.
인용 문헌：MONOGRAPH SERIES ON ALLOYPHASE DIAGRAMS 7
「Phase Diagrams of Binary Tungsten Alloys」THE INDIAN
INSTITUTE of METALS |
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W·5%Re-W·26%Re열전대
규준 열기전력표 |
0℃ |
0 |
10 |
20 |
30 |
40 |
50 |
60 |
70 |
80 |
90 |
0 |
0.000 |
0.135 |
0.273 |
0.413 |
0.555 |
0.699 |
0.846 |
0.994 |
1.145 |
1.297 |
100 |
1.451 |
1.608 |
1.766 |
1.926 |
2.087 |
2.251 |
2.415 |
2.582 |
2.750 |
2.919 |
200 |
3.090 |
3.262 |
3.436 |
3.610 |
3.786 |
3.963 |
4.141 |
4.321 |
4.501 |
4.682 |
300 |
4.865 |
5.048 |
5.232 |
5.417 |
5.603 |
5.789 |
5.976 |
6.164 |
6.353 |
6.542 |
400 |
6.732 |
6.922 |
7.113 |
7.305 |
7.497 |
7.689 |
7.882 |
8.075 |
8.269 |
8.463 |
500 |
8.657 |
8.851 |
9.046 |
9.241 |
9.436 |
9.631 |
9.827 |
10.022 |
10.218 |
10.413 |
600 |
10609 |
10.804 |
10.999 |
11.195 |
11.390 |
11.585 |
11.780 |
11.974 |
12.169 |
12.364 |
700 |
12.559 |
12.753 |
12.947 |
13.141 |
13.335 |
13.529 |
13.723 |
13.916 |
14.109 |
14.301 |
800 |
14.494 |
14.686 |
14.878 |
15.069 |
15.260 |
15.451 |
15.641 |
15.831 |
16.021 |
16.210 |
900 |
16.398 |
16.587 |
16.775 |
16.962 |
17.149 |
17.335 |
17.521 |
17.707 |
17.892 |
18.076 |
1000 |
18.260 |
18.444 |
18.627 |
18.809 |
18.991 |
19.172 |
19.353 |
19.533 |
19.713 |
19.892 |
1100 |
20.071 |
20.249 |
20.426 |
20.603 |
20.779 |
20.955 |
21.130 |
21.305 |
21.479 |
21.652 |
1200 |
21.825 |
21.997 |
22.169 |
22.340 |
22.510 |
22.680 |
22.849 |
23.018 |
23.186 |
23.353 |
1300 |
23.520 |
23.686 |
23.852 |
24.017 |
24.181 |
24.345 |
24.508 |
24.671 |
24.833 |
24.994 |
1400 |
25.155 |
25.315 |
25.475 |
25.633 |
25.792 |
25.949 |
26.107 |
26.263 |
26.419 |
26.574 |
1500 |
26.729 |
26.883 |
27.037 |
27.190 |
27.342 |
27.493 |
27.645 |
27.795 |
27.945 |
28.094 |
1600 |
28.243 |
28.391 |
28.538 |
28.685 |
28.831 |
28.977 |
29.122 |
29.266 |
29.410 |
29.553 |
1700 |
29.696 |
29.838 |
29.979 |
30.120 |
30.260 |
30.399 |
30.538 |
30.676 |
30.813 |
30.950 |
1800 |
31.087 |
31.222 |
31.357 |
31.491 |
31.625 |
31.758 |
31.890 |
32.022 |
32.153 |
32.283 |
1900 |
32.413 |
32.542 |
32.670 |
32.797 |
32.924 |
33.050 |
33.175 |
33.300 |
33.424 |
33.547 |
2000 |
33.669 |
33.791 |
33.911 |
34.031 |
34.151 |
34.269 |
34.387 |
34.503 |
34.619 |
34.734 |
2100 |
34.849 |
34.962 |
35.074 |
35.186 |
35.296 |
35.406 |
35.515 |
35.623 |
35.730 |
35.836 |
2200 |
35.940 |
36.044 |
36.147 |
36.249 |
36.350 |
36.449 |
36.548 |
36.645 |
36.742 |
36.837 |
2300 |
36.931 |
37.024 |
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| (단위：mV) |
온도에 대한 허용차이： 0~426℃：
±4.4℃
426~2315℃： ±0.01 × t℃
인용 규격：ASTM E988-1996 |
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