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귀금속·비금속선을 이용해 저온으로부터 초고온까지의 공업용 온도계측에, 넓게 사용되고 있는 온도 센서입니다.

일반 공업용 열전대나 폭발의 위험 장소에 이용되는 방폭형 열전대 등 다양한 용도의 제품을 제조하고 있습니다.
01. 시스 열전대(THERMIC)
금속 시스와 열전대소선간을 고순도 마그네시아 분말로 딱딱하게 충전해 기밀 상태로 한 절연성과 고내압성을 가진 시스 열전대입니다.

또, 적정한 소둔에 의해 열전대 상태를 해치는 일 없이 굽힐 수 있습니다.

시스 열전대의 종류 K, E, J, T, N, R
시스 외경 φ0.25 φ0.5 φ1.0 φ1.6 φ2.2 φ3.2 φ4.8 φ6.4 φ8.0
재질 SUS316L SUS310S INCONEL600
경도 JIS 클래스1 JIS 클래스 2
대수 싱글 더블
온접점 타입Ⅰ(접지형) 타입Ⅱ(비접지형) 타입Ⅲ(노출형)
THERMIC시스 열전대의 표준 형식(MODEL:TM)
TMB형태 보상 도선 첨부
TMH형태 밀폐방적단자상부
TMES(L)형태 메탈 코넥터 첨부
TMN형태군요 글자 포함식
TMDS(L)형태 수지제 코넥터 첨부
TMNF형태 플랜지식
02. 보호관형 열전대
열전대소선에 절연관을 달아 금속 보호관이나 세라믹제 보호관 등에 짜넣은 일반적인 열전대입니다.

보호관 및 절연관에는, 사용장소의 조건을 고려한 다음 최적인 것을 선정
하는 것이 중요하고, 측온기술의 중요한 포인트가 됩니다.
열전대의 종류 K, E, J, T, N, R
선경 φ0.32 φ0.5(R타입)φ0.65 φ1.0 φ1.6 φ2.3 φ3.2
경도 JIS 클래스 1 JIS 클래스 2
보호관형 열전대의 표준 형식
TE12형태 금속 보호관부열전대
TE22형태 자성 보호관부열전대(서포트식)
TE13형태 금속 보호관부열전대(비틀어 넣기식)
TE23형태 자성 보호관부열전대(비틀어 넣기식)
TE14형태 금속 보호관부열전대(플랜지식)
TE24형태 자성 보호관부열전대(플랜지식)
03. 세라서모 열전대
세라서모 열전대는 열전대소선에 세라믹 박막으로 절연 하는 것으로써, 작업성에 난점이 있던 절연관이나 보호관을 불필요하게 해,
세경화와 경량화를 가능하게 한 열전대입니다.
구조
특징
1.작업성 양호······ 절연관의 연결고리로 궁리할 수 있거나 합선 하지 않습니다.
2.공간절약······· 실질적으로는 열전대와 동지름입니다.
3.경량············ 실질적으로는 열전대와 동중량입니다.
4.고가효성········ 절연관이나 보호관에 의한 제약이 없습니다.
5.비가스 방출성····      초고진공내에서 사용 가능합니다.

이용분야
반도체 제조 장치 기반, 웨퍼의 온도 분포 측정
진공 장치 각종 증착 장치, 스패터링 장치의 기판 온도 측정
분석 장치내의 온도 측정
제조 장치(CVD장치, 열처리노) 정밀소성로, 정밀 합성로내의 온도 측정
열전대소선의 종류 타입 K
선경(대표예) φ0.1 φ0.2 φ0.32
04. 고온 환원 분위기용 TYPE "K"열전대(AD-THERMIC)

당사는, 열전대소선메이커와의 공동 개발에 의해 TYPE ”K” 열전대소선의 합금 성분을 조정해, 종래의 TYPE"K"열전대의 고온 및 환원 분위기하에서의 안정성을 크게 개선했습니다.
 
이 개발한”K”열전대소선을 이용한 신형TYPE"K" 시스 열전대
<제품명:ADVANCED TYPE K THERMIC:AD-THERMIC>의 고온에 있어서의 안정성의 사내 평가 시험을 실시해, 당사의 종래품과 비교해서 양호한 데이터를 얻을 수 있었습니다.AD-THERMIC(은)는, 고온 열처리노나 환원 분위기노에서의 필드 평가에서도, 종래품과 비교해서 뛰어난 평가 결과를 얻을 수 있어 호평을 받고 있습니다.

특징
※ 수소 분위기, 고온침탄등의 환원 분위기하에서의 드리프트의 개선
※ 고온 연속 사용에 있어서의 수명 연장
05. 고온측정용 열전대 텅스텐-레니움

근년 눈부신 발전을 이루고 있는 고온 열처리노나 고온 영역에 있어서의 실험·연구등으로의 고온도 측정의 요구가 높아지는 가운데, 텅스텐-레니움(이하,W·Re(와)과 칭) 열전대를 이용한 온도 센서를, 산업계 각 분야에 대해, 넓게 소개 해왔습니다.

그런데, 지금까지는 이 W·Re열전대 재료는, 해외로부터의 수입에 의지하고 있었습니다만, 이번에 국내 메이커와의 공동 개발을 실시해, ASTM규격E988에 준거한 열전대 재료로서 판매를 개시하기에 이르렀습니다.

텅스텐-레니움 열전대의 일반 특성
W·Re열전대의 특징은 아래와 같습니다.
- 백금계 열전대에 비해, 열기전력이 크고, 또, linearity가 양호하고, 한편, 고온 지역(2300℃)까지 측정 가능합니다.
- 백금계 열전대는, W·Re열전대는, 환원성·불활성·진공·핵환경하에서 사용할 수 있습니다.
텅스텐-레니움 열전대의 열기전력 특성
W·Re열전대의 임의 로트에 대해 열기전력 특성을 조사한 결과, 그림 1및 그림 2에 나타내도록(듯이) 초기에 있어서의 오차 및 드리프트량과도, 종래의 해외품보다 우수합니다.
W·Re열전대를 이용해 W·Re열전대를 비교 교정.

1600℃의 아르곤 분위기중에서3시간, 10시간
가열한 후 ,Cu응고점(1084.62℃)에 있어서의
오차의 변화량.

 
종류
W·5%Re
W·26%Re
특성
융점℃※
3375℃※
3021℃※
비중
19.4
19.6
전기 저항μ Ω·cm(30ºC)
12.6
28.8
선팽창 계수(0~100ºC)
4.6×10 -6
4.9×10 -6
비열(30ºC)
0.131
0.132
융점에 대해서는, 아래와 같이 문헌으로부터 인용.
다만, W·26%Re의 융점은 기재되지 않았기 때문에,W·25%Re의 값을 대용.
인용 문헌:MONOGRAPH SERIES ON ALLOYPHASE DIAGRAMS 7
「Phase Diagrams of Binary Tungsten Alloys」THE INDIAN INSTITUTE of METALS
 
W·5%Re-W·26%Re열전대 규준 열기전력표
0℃
0
10
20
30
40
50
60
70
80
90
0
0.000
0.135
0.273
0.413
0.555
0.699
0.846
0.994
1.145
1.297
100
1.451
1.608
1.766
1.926
2.087
2.251
2.415
2.582
2.750
2.919
200
3.090
3.262
3.436
3.610
3.786
3.963
4.141
4.321
4.501
4.682
300
4.865
5.048
5.232
5.417
5.603
5.789
5.976
6.164
6.353
6.542
400
6.732
6.922
7.113
7.305
7.497
7.689
7.882
8.075
8.269
8.463
500
8.657
8.851
9.046
9.241
9.436
9.631
9.827
10.022
10.218
10.413
600
10609
10.804
10.999
11.195
11.390
11.585
11.780
11.974
12.169
12.364
700
12.559
12.753
12.947
13.141
13.335
13.529
13.723
13.916
14.109
14.301
800
14.494
14.686
14.878
15.069
15.260
15.451
15.641
15.831
16.021
16.210
900
16.398
16.587
16.775
16.962
17.149
17.335
17.521
17.707
17.892
18.076
1000
18.260
18.444
18.627
18.809
18.991
19.172
19.353
19.533
19.713
19.892
1100
20.071
20.249
20.426
20.603
20.779
20.955
21.130
21.305
21.479
21.652
1200
21.825
21.997
22.169
22.340
22.510
22.680
22.849
23.018
23.186
23.353
1300
23.520
23.686
23.852
24.017
24.181
24.345
24.508
24.671
24.833
24.994
1400
25.155
25.315
25.475
25.633
25.792
25.949
26.107
26.263
26.419
26.574
1500
26.729
26.883
27.037
27.190
27.342
27.493
27.645
27.795
27.945
28.094
1600
28.243
28.391
28.538
28.685
28.831
28.977
29.122
29.266
29.410
29.553
1700
29.696
29.838
29.979
30.120
30.260
30.399
30.538
30.676
30.813
30.950
1800
31.087
31.222
31.357
31.491
31.625
31.758
31.890
32.022
32.153
32.283
1900
32.413
32.542
32.670
32.797
32.924
33.050
33.175
33.300
33.424
33.547
2000
33.669
33.791
33.911
34.031
34.151
34.269
34.387
34.503
34.619
34.734
2100
34.849
34.962
35.074
35.186
35.296
35.406
35.515
35.623
35.730
35.836
2200
35.940
36.044
36.147
36.249
36.350
36.449
36.548
36.645
36.742
36.837
2300
36.931
37.024
(단위:mV)
온도에 대한 허용차이: 0~426℃: ±4.4℃
426~2315℃: ±0.01 × t℃
인용 규격:ASTM E988-1996